농축물에 있는 산업 실리콘 박편 청소 해결책 이중군

농축물에 있는 산업 실리콘 박편 청소 해결책 이중군

가장 효과적이게 청결한 실리콘 박편은, 실리콘의 제조자 청소 단계의 뒤에 오는 명부를 추천합니다:

단계 하나: 청결한 용매

성공적으로 실리콘 박편의 표면에서 기름과 유기 잔류물을 제거하는 반도체 제조업 사용 용매. 용매가 이 오염물질을 제거하는 동안, 용매 그들자신은 웨이퍼의 표면에 실제로 잔류물을 또한 남겨둡니다. 이런 이유로, 2 용매 방법은 웨이퍼가 오염물질에 자유롭게 진술한다는 것을 돌려보내진다는 것을 보증하기 위하여 실행됩니다. 용해력이 있는 청소 방법은 아래와 같이 개설됩니다:

아세톤을 가진 2개의 목욕, 1개의 유리 그릇 및 메탄올에 또 다른 한개를 준비하십시오.

온도에 아세톤을의 가열하기 위하여 가열판에 아세톤 콘테이너를 55°C. 보다는 아니 좀더 두십시오.

일단 온난한, 10 분 동안 아세톤 목욕에 있는 실리콘 박편을 적시십시오.

아세톤 목욕이 완전하던 후에, 실리콘 박편을 제거하고 5 분 동안 메탄올 콘테이너로 두십시오.

일단 시간이 오르면, DI water에 있는 메탄올 그리고 행구기에서 웨이퍼를 제거하십시오.

질소를 가진 실리콘 박편을 Blow dry.

단계 2: RCA-1는 청소합니다

반도체 제조 공업에서 그들은 그 때 청결한 유기 잔류물을 제거하기 위하여 RCA를 이용합니다. 청결한 RCA는 실리콘을 산화하고 웨이퍼의 표면에 산화물의 얇은 방어적인 층을 제공합니다. RCA-1 청소 방법은 아래와 같이 개설됩니다:

5개 parts DI water와 1개 부품 염화 수산화물 (27%) 결합해서 RCA 목욕의 준비를 시작하십시오.

대략 70°C.의 온도에 해결책을 가열하기 위하여 가열판에 RCA 콘테이너를 두십시오.

일단 이 온도가 도달되면, 콘테이너를 가열판에서 제거하고 1개 부품 과산화 수소 (30%)를 추가하십시오. 해결책은 분 또는 2 후에 포입할 것입니다.

일단 해결책이 포입하는 것을 시작되면, 대략 15 분을 위한 실리콘 박편을 적시십시오.

시간이 오를 때, 웨이퍼를 RCA 목욕에서 제거하고 완전하게 해결책을 헹구는 물 다수 시간을 바꾸어 DI water와 가진 콘테이너로 두십시오.

이 과정 후에, 그것에게 물 표면 지팡이에서 웨이퍼에 아무 잔류물도 지키기 위하여 유수의 밑에 콘테이너에서 웨이퍼를 제거하지 마십시오.

단계 3: 불화수소산 (HF) 복각

반도체 제조업은 그 때 실리콘 박편 표면에서 이산화 실리콘을 제거하기 위하여 최종 단계, HF 복각을, 실행합니다. HF가 위험한 화학물질이다는 것을 주의하는 것이 중요합니다, 그래서 실리콘의 제조자는 무거운 장갑과 같은 그 방어적인 장치를 추천하고 눈 착용은 이 단계 도중 항상 착용됩니다. HF 복각 과정은 아래와 같이 개설됩니다:

20 ml HF도 물 480 ml 결합해서 HF 복각 콘테이너를 창조하십시오. 접촉으로 오는 경우 HF가 어떤 유리제 물자든지로 알려진 대로 항상 유리제 비커와 반대로 폴리프로필렌 비커를 사용하십시오 위험하게 반작용하기 위하여.

해결책을 창조한 후에, 2 분을 위한 실리콘 박편을 적시십시오.

일단 시간이 오르면, DI water를 달리기의 밑에 웨이퍼 및 행구기를 제거하십시오.

웨이퍼 표면 DI water를 부어서 습윤성 수행하십시오. 물이 작은 구슬로 돌고 복사하는 경우에, 당신은 표면이 산화물 이 소수성 그리고 면제되 알 것입니다.

질소를 가진 실리콘 박편을 Blow dry.

실리콘의 제조자에 의해 추천된 위 단계를 실행하는 것은 반도체 제조 공업에 있는 그 실리콘 박편에 오염의 도전을 극복하기 위하여 기업을 도울 것입니다.

실리콘 박편 청소 해결책 기술적인 모수

우리 공장

공장은 26653 평방 미터의 지역, 종류 작업장, C 종류 작업장, C 종류의 건축을 창고, 창고 및 다른 보조 설비 커버합니다. 화학 종의 100개 이상을 종류 포함. 11000 톤/년의 생산 능력.

첫째로, 회사 생산 단면도

1. C 종류 작업장
C, 2#의 3#를 가진 1# 작업장, 7# 4는 생산 라인, 닫히는 생산 설비를 사용하여, 1#를 포함하여, 2#의 3# 각 행 자동화 생산, 1L~25L 깡통에서 명세를 채우는 완전히 자동적인 액체 채우는 선을 놓았습니다 2. 성분은 분리되는 밀봉된 지역에서 실행됩니다. 제품 다양성의 필요조건에 따르면, C 종류 생산 라인의 중앙 제어 방은 온갖 계기 및 감지기 통제 시스템의 대다수를 형성하기 위하여 장비됩니다.

2. 종류 작업장
종류 2의 3개의 갱구 믹서 그리고 고속 분산 기계 3 세트를 가진 작업장, 직업 온갖 페인트와 코팅 생산을 제공하기 위하여.

3. C 창고
3300 평방 미터의 C 창고 건축 지역에는 화재 지역이 있고, 화학 원료 및 완제품의 분류를 위해 사용될 수 있고.

4. 창고
1400 평방 미터의 2개의 창고 건축 지역에는 화재 지역이 있고, 화학 원료의 a, B 종류 및 완제품에 의하여 분류된 저장을 위해 사용될 수 있고.

5. 다른 기능
공장에는 하수 오물의 처리 후에 전문가 하수 처리 기능, 20T/d의 공정 능력이, 때문에 생산을 위한 개심케 되기 물 있기. 공장은 폐기 가스 처리 장비의 4 세트, 출력 기준 후에 모든 배기 개스 처리 기능으로 갖춰집니다.